新近开发的原子工程技术为在高介电常数材料中实现铁电行为提供了激动人心的可能性，这些材料的介电常数高于硅。这将为更先进的基于CMOS的技术的发展提供重要信息，具备更广泛的功能和特性。
佛罗里达大学的研究团队最近在探索铪和锆基材料的原子工程潜力，以制造电子系统的不同组件。在《自然电子》杂志的一篇最新论文中，他们介绍了一种新的广谱纳米机电谐振器，这是一种基于铪-氧化锆-氧化铝超晶格的电子元件，能够产生谐振频率。
“我的研究小组一直在探索铪氧化锆作为纳米级集成换能器的潜力，旨在推动新的基于CMOS的纳米机电系统（CMOS-NEMS）范式的发展，这在时钟生成、物理传感、光谱处理和计算应用方面具有革命性的影响，”首席研究员Roozbeh Tabrizian在接受Phys.org采访时表示。“所有这些应用的有效性基本上依赖于铪-氧化锆薄膜中压电耦合的效率。”
铪-锆薄膜具有复杂的多晶结构，由不同极性和非极性形态的畴组成，每个畴都对电和机械边界条件下的机电耦合起到重要作用。由于这种复杂的结构，支撑这些材料中压电性的基本物理过程仍然知之甚少，这使得增强这一特性变得具有挑战性。
Tabrizian表示：“当专门针对铪-氧化锆薄膜制造超高频和极高频谐振器时，薄膜在如此高频率下的压电耦合是设定性能和确定其在时钟和滤波器制造中适用性的关键。”他补充道：“为了回答这些问题，我们决定开展实验，以揭示铪-氧化锆压电耦合在电气轮询过程中的演变。”
在他们最近的研究中，Tabrizian和他的同事们尝试通过材料工程方法来增强铪-氧化锆-氧化铝超晶格中的压电耦合（即需要机械和电气物理之间相互作用的效应）。最终，他们利用设计的材料制造了纳米机电谐振器，能够集成到各种基于CMOS的电子设备中。
Tabrizian指出：“我们的铪-氧化锆-氧化铝纳米机电谐振器具有三个独特的特点。首先，它们固有的CMOS兼容性和CMOS工艺前端材料的可用性，突显了它们与固态电路单片集成的潜力。这使得时钟、滤波器、传感器和机械计算机的性能和功率效率提高了几个数量级，同时降低了尺寸和成本。”
Tabrizian和他的同事们创造的谐振器的第二个优点是，它们可以轻松缩放到超高和极高的频率，因为它们所基于的铪氧化锆薄膜可以显著缩小。值得注意的是，当缩小到几纳米时，研究人员设计的薄膜仍然保持其高压电耦合。
因此，这些薄膜可以用于制造多种不同的CMOS集成器件，包括谐振器、时钟和在几十千兆赫兹下工作的滤波器。这些高频CMOS集成系统对于开发下一代无线通信技术至关重要。
Tabrizian解释道：“第三点也是最后一点，得益于铁电特性，铪-锆中的压电耦合可以通过临时施加直流电压来打开和关闭。这使得创建本质上可切换的频率控制设备成为可能，从而消除了对外部开关及其功耗、损耗和占用空间开销的需求。当将系统扩展到多频率多频段操作时，这一点至关重要，因为这需要在不同频率的谐振器阵列中进行灵活配置。”
该研究小组最近的工作增强了对压电耦合如何在铪-氧化锆换能器中发展的理解，从沉积膜中的非线性二次型模式切换到创建频率控制系统所需的线性模式。当工程的铪-锆氧化物薄膜暴露在足够的电场循环中时，这种开关会自发发生。
Tabrizian表示：“我们的研究还强调了在铪-锆换能器中使用薄氧化铝中间层的潜力（即创建铪-锆-氧化铝超晶格），以增强换能器的压电耦合，并且即使薄膜从衬底释放形成悬浮膜，也能维持这种耦合。有了这些知识，我们阐明了制造高性能铪-锆-铝谐振器的方法，这些谐振器在超高和极高频下具有高质量因数和耦合。”
到目前为止，Tabrizian和他的同事们已经成功地利用他们的薄膜开发出了覆盖0.2 - 20GHz频率的高性能谐振器。然而，在接下来的研究中，他们计划探索这种薄膜制造其他电子元件的潜力，同时在各种微系统中集成和测试他们制造的谐振器。
Tabrizian补充道：“我们未来研究的一个关键方向是将已开发的铪-锆-铝纳米机电谐振器集成到CMOS芯片上，以创建第一个超高频单片CMOS-NEMS振荡器。此外，我们将通过材料工程探索铪-锆-铝谐振器的温度稳定性。这对于实现时钟和频率参考产生应用的稳定振荡器至关重要。”
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希望本篇文章《千兆赫频谱下的半氧化锆-氧化铝超晶格纳米机电谐振器研究》能对你有所帮助！
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